Effects of high dielectric constant abrasives on ECMP

Effects of high dielectric constant abrasives on ECMP
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高介电常数磨料对 ECMP 的影响

DOI：
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发表时间：
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期刊：
Applied Mechanics and Materials
影响因子：
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通讯作者：
Zewei Yuan
Zewei Yuan
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
Weisi Li;Dongming Guo;Zhuji Jin;Zhe Wang;Zewei Yuan

文献摘要

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