本征非晶硅薄膜钝化晶体表面特性的DLTS分析

本征非晶硅薄膜钝化晶体表面特性的DLTS分析
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DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
激光与光电子学进展
影响因子:
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通讯作者:
周浪
周浪
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
龚敏刚;黄海宾;田罡煜;高超;孙喜莲;邓新华;袁吉仁;周浪

文献摘要

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