低仕事関数金属を用いたn型4H-SiCに対する低ショットキー障壁コンタクトの実現
低仕事関数金属を用いたn型4H-SiCに対する低ショットキー障壁コンタクトの実現
复制标题
使用低功函数金属实现n型4H-SiC的低肖特基势垒接触
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中塚理
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
土井拓馬;柴山茂久;坂下満男;清水三聡;中塚理
