次世代機能性薄膜の動向(3)~物理・化学機能薄膜~

次世代機能性薄膜の動向(3)~物理・化学機能薄膜~
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下一代功能性薄膜的动向(3)~物理/化学功能性薄膜~

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
Yano E plus
影响因子:
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通讯作者:
大倉利典
大倉利典
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
澤木大介;古谷泰英;山崎淳司;大倉利典

文献摘要

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