What can we do about barrier layer scaling to 5 nm node technology
What can we do about barrier layer scaling to 5 nm node technology
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对于势垒层微缩至 5 nm 节点技术，我们能做些什么
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Junichi Koike
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Urakawa;K. Ohtsuka;S. Abe;T. Ito;and T. Nakamura;吉川信行;Junichi Koike
