Hiroyuki SEGAWA and Shigeki YOYAMA: "Development of high accurate positioning stage by ultrasonic motor"Proc. Of the Japan Society for Precision Engineering, Autumn meeting. 476 (1998)
Hiroyuki SEGAWA and Shigeki YOYAMA: "Development of high accurate positioning stage by ultrasonic motor"Proc. Of the Japan Society for Precision Engineering, Autumn meeting. 476 (1998)
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Hiroyuki SEGAWA和Shigeki YOYAMA：“超声波电机高精度定位平台的开发”Proc.
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