Impact of parylene-C thickness on performance of KTaO3 field-effect transistors with high-k oxide/parylene-C hybrid gate dielectric
Impact of parylene-C thickness on performance of KTaO3 field-effect transistors with high-k oxide/parylene-C hybrid gate dielectric
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聚对二甲苯-C 厚度对具有高 k 氧化物/聚对二甲苯-C 混合栅极电介质的 KTaO3 场效应晶体管性能的影响
DOI：
10.1063/1.4940387
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发表时间：
2016
影响因子：
3.2
通讯作者：
and H. Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Wei;K. Fujiwara;T. Kanki;and H. Tanaka
