Uncertainty evaluation of the static expansion system and its long-term stability at NMIJ
Uncertainty evaluation of the static expansion system and its long-term stability at NMIJ
复制标题
NMIJ静态膨胀系统的不确定性评估及其长期稳定性
DOI：
10.1016/j.vacuum.2020.110034
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
K. Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshinori Takei;H. Yoshida;E. Komatsu;K. Arai
