AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
AlN/SiOxナノコンポジット膜の微細構造
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AlN/SiOx纳米复合薄膜的微观结构
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高畠浩史,川畑常眞,松田健二,Wen-An Chiou,塩尻 詢,野瀬正照
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤誉将;高畠浩史,川畑常眞,松田健二,Wen-An Chiou,塩尻 詢,野瀬正照
