M.Shiratani et al.: "Two demensional spatial profiles of size and density of particulates grown in RF silane plasmas" IEEE Trans.Plasma Sci.24(印刷中). (1996)
M.Shiratani et al.: "Two demensional spatial profiles of size and density of particulates grown in RF silane plasmas" IEEE Trans.Plasma Sci.24(印刷中). (1996)
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M. Shiratani 等人：“RF 硅烷等离子体中生长的颗粒的尺寸和密度的二维空间剖面”IEEE Trans.Plasma Sci.24（出版中）。
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