Analysis of in-plane thermal conduction in Si-Nanopillar/SiGe composite films by laser heterodyne photothermal displacement signal and theoretical calculation
Analysis of in-plane thermal conduction in Si-Nanopillar/SiGe composite films by laser heterodyne photothermal displacement signal and theoretical calculation
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激光外差光热位移信号分析Si-纳米柱/SiGe复合薄膜面内热传导及理论计算
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Atsuhiko Fukuyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Ohyama;Tomoki Harada;Kosuke Morita;Shogo Harada;Daisuke Ohori;Seiji Samukawa;Tetsuo Ikari;and Atsuhiko Fukuyama
