須田良幸, 三木一司: "Si_<1-x>Ge_x/Si RTDと熱分解法原子層スケール成長技術"シリコンテクノロジー分科会研究集会特集号. 18. 43-47 (2000)

須田良幸, 三木一司: "Si_<1-x>Ge_x/Si RTDと熱分解法原子層スケール成長技術"シリコンテクノロジー分科会研究集会特集号. 18. 43-47 (2000)
复制标题

Yoshiyuki Suda、Kazushi Miki:“Si_<1-x>Ge_x/Si RTD 和热解原子层尺度生长技术”硅技术小组委员会研究会议特刊 18. 43-47 (2000)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献