Yoshitaka MITSUDA, Yoshinari TAKAI: "Diamond Films Deposition in Microwave Plasma Reactor with Cylindrical H11 mode"Jpn. J. Appl. Phys.. (2002)

Yoshitaka MITSUDA, Yoshinari TAKAI: "Diamond Films Deposition in Microwave Plasma Reactor with Cylindrical H11 mode"Jpn. J. Appl. Phys.. (2002)
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Yoshitaka MITSUDA、Yoshinari TAKAI:“圆柱形 H11 模式微波等离子体反应器中的金刚石薄膜沉积”Jpn。

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