Design and testing of a contact-type micro thermal sensor for defect inspection on nanometric smooth surfaces
Design and testing of a contact-type micro thermal sensor for defect inspection on nanometric smooth surfaces
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用于纳米光滑表面缺陷检测的接触式微型热传感器的设计与测试
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W. Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Shimizu;Y. Ohba;W. Gao
