ウェットエッチングを用いたSOI基板のサブナノメートル精度薄膜化
ウェットエッチングを用いたSOI基板のサブナノメートル精度薄膜化
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使用湿法蚀刻对 SOI 衬底进行亚纳米级精密减薄
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田 進
中科院分区：
文献类型：
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作者：
桑原 充輝;高橋 和;野田 進
