M. IIda, H.T. Kaibe and T. Okumura: "Low-Temperature Fluorination of GaAs surface by CF_4 Plasma" Jpn. J. Appl. Phys.Vol.30. 1581-1584 (1991)
M. IIda, H.T. Kaibe and T. Okumura: "Low-Temperature Fluorination of GaAs surface by CF_4 Plasma" Jpn. J. Appl. Phys.Vol.30. 1581-1584 (1991)
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M.IIda，H.T.
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