Experimental and simulation study on hydrogen atom kinetics in low-pressure capacitively coupled plasmas
Experimental and simulation study on hydrogen atom kinetics in low-pressure capacitively coupled plasmas
复制标题
低压电容耦合等离子体中氢原子动力学实验与模拟研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hirotaka Katayama and Isao Yoshida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shota Nunomura;Hirotaka Katayama and Isao Yoshida
