レーザープラズマ光源の輝度分布を考慮したEUV照明系照度の精密評価
レーザープラズマ光源の輝度分布を考慮したEUV照明系照度の精密評価
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考虑激光等离子光源亮度分布的EUV照明系统照度精确评估
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
豊田 光紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
脇 俊太郎;津久井 雄祐;陳 軍;豊田 光紀
