Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light
Micromachining of Polydimethylsiloxane induced by laser plasma EUV light
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激光等离子体 EUV 光诱导聚二甲基硅氧烷的微加工
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他7名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Torii;他7名
