Sidewall surface chemistry in directional etching processes
Sidewall surface chemistry in directional etching processes
复制标题
定向蚀刻工艺中的侧壁表面化学
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Kurogi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Oehrlein;Y. Kurogi
