小型片面研磨装置向け電界スラリー制御システムの開発
小型片面研磨装置向け電界スラリー制御システムの開発
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小型单面抛光设备电场浆料控制系统的研制
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
池田 洋，原田 響，久住孝幸，越後谷正美，赤上陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尹成圓;鈴木健太;廣島洋;Takeshi Yamaguchi;池田洋，泉 泰秀，久住孝幸，赤上陽一;尹成圓;桂島悠;池田 洋，原田 響，久住孝幸，越後谷正美，赤上陽一
