S.MIYAKE,Y.SETSUHARA,K.SHIBATA,M.KUMAGAI,Y.SAKAWA and T.SHOJI: "Formation of Carbon Nitride Films by Reactive High-Density Plasma Sputtering with Excitation of m=0 Mode Helicon Wave" Surf.& Coatings Technol.(to be published). (1999)
S.MIYAKE,Y.SETSUHARA,K.SHIBATA,M.KUMAGAI,Y.SAKAWA and T.SHOJI: "Formation of Carbon Nitride Films by Reactive High-Density Plasma Sputtering with Excitation of m=0 Mode Helicon Wave" Surf.& Coatings Technol.(to be published). (1999)
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S.MIYAKE、Y.SETSUHARA、K.SHIBATA、M.KUMAGAI、Y.SAKAWA 和 T.SHOJI：“通过激发 m=0 模式螺旋波的反应高密度等离子体溅射形成氮化碳薄膜”冲浪。
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