Y.Gotoh: "Ion beam assisted deposition of niobium nitride thin films for vacuum microelectronics devices" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 148(1-4). 925-929 (1999)
Y.Gotoh: "Ion beam assisted deposition of niobium nitride thin films for vacuum microelectronics devices" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 148(1-4). 925-929 (1999)
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Y.Gotoh:“用于真空微电子器件的氮化铌薄膜的离子束辅助沉积”核物理研究仪器和方法 B.148(1-4)。
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