Y.Gotoh: "Ion beam assisted deposition of niobium nitride thin films for vacuum microelectronics devices" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 148(1-4). 925-929 (1999)

Y.Gotoh: "Ion beam assisted deposition of niobium nitride thin films for vacuum microelectronics devices" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 148(1-4). 925-929 (1999)
复制标题

Y.Gotoh:“用于真空微电子器件的氮化铌薄膜的离子束辅助沉积”核物理研究仪器和方法 B.148(1-4)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献