特殊加工用大ストローク５自由度制御型磁気浮上アクチュエータ
特殊加工用大ストローク５自由度制御型磁気浮上アクチュエータ
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特殊加工的大行程5自由度控制型磁悬浮执行器
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
張 暁友
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村田 賢志，劉 洋;張 暁友
