木村 誠一: "半導体スピンコーティングにおけるウェーハ上のEkaman Spiralに関する研究(第1報,可視化実験および熱線流速計による測定)"日本機械学会九州支部講演論文集. 48・1. 233-234 (2004)
木村 誠一: "半導体スピンコーティングにおけるウェーハ上のEkaman Spiralに関する研究(第1報,可視化実験および熱線流速計による測定)"日本機械学会九州支部講演論文集. 48・1. 233-234 (2004)
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木村精一：“半导体旋涂中晶圆上的 Ekaman 螺旋的研究（第 1 次报告，使用热线风速计的可视化实验和测量）”日本机械工程师学会九州分会会议记录 48・1（2004 年）。 ）
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