反応性マグネトロンスパッタリング法により作製した超伝導MMIC用低温NbTiN薄膜抵抗器
反応性マグネトロンスパッタリング法により作製した超伝導MMIC用低温NbTiN薄膜抵抗器
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反应磁控溅射法制备超导MMIC用低温NbTiN薄膜电阻
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江崎翔平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
単文磊;江崎翔平
