D.Saya, K.Fukushima, H.Toshiyoshi, G.Hshiguchi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Fabrication of single-crystal Si cantilever array"Journal of Sensors and Actuators : A.Physical. 3(印刷中). (2002)
D.Saya, K.Fukushima, H.Toshiyoshi, G.Hshiguchi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Fabrication of single-crystal Si cantilever array"Journal of Sensors and Actuators : A.Physical. 3(印刷中). (2002)
复制标题
D.Saya、K.Fukushima、H.Toshiyoshi、G.Hshiguchi、H.Fujita、H.Kawakatsu：“单晶硅悬臂阵列的制造”传感器与执行器杂志：A.Physical。 (2002)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
