マイクロマシン応力センサに向けた単結晶ダイヤモンド上のPZT薄膜成長
マイクロマシン応力センサに向けた単結晶ダイヤモンド上のPZT薄膜成長
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用于微机械应力传感器的单晶金刚石上的 PZT 薄膜生长
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Y.Liao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Hashimoto;A.S.Alaraimi;C.Han;M.Y.Liao
