T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
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提高T型过滤电弧沉积中DLC薄膜的沉积速度
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩崎 康浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩崎 康浩;彦坂 博紀;Y.Iwasaki;岩崎 康浩
