Effects of Pressure on Reusable Self-Assembled Microsphere Masks for Microsphere Photolithography
Effects of Pressure on Reusable Self-Assembled Microsphere Masks for Microsphere Photolithography
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压力对微球光刻可重复使用自组装微球掩模的影响
DOI：
10.1115/msec2022-85165
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kinzel, Edward C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhu, Chen;Kinzel, Edward C.
