光照射とポリシラザン塗布膜による高ガスバリア膜低温形成技術の開発
光照射とポリシラザン塗布膜による高ガスバリア膜低温形成技術の開発
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利用光照射和聚硅氮烷涂膜的高气体阻隔性薄膜的低温形成技术的开发
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
生田目俊英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山崎祥美;大石知司;生田目俊英
