Epitaxial Growth of Group IV Semiconductor Nanostructures Using Atomically Controlled Plasma Processing (Invited Paper)
Epitaxial Growth of Group IV Semiconductor Nanostructures Using Atomically Controlled Plasma Processing (Invited Paper)
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使用原子控制等离子体处理的 IV 族半导体纳米结构的外延生长(特邀论文)
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
J. Murota
中科院分区:
文献类型:
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作者:
M. Sakuraba、T. Nosaka、K. Sugawara;J. Murota