Early stage of Si surface processing by femto-second Ti:sapphire laser pulses
Early stage of Si surface processing by femto-second Ti:sapphire laser pulses
复制标题
飞秒钛蓝宝石激光脉冲处理硅表面的早期阶段
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuji Sato and Atsushi Yokotani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahito Katto;Masanori Kaku;Masahiro Tsukamoto;Yuji Sato and Atsushi Yokotani
