触媒針電極を用いたシリコン基板への貫通孔の形成
触媒針電極を用いたシリコン基板への貫通孔の形成
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使用催化剂针电极在硅基板上形成通孔
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉田智彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杉田智彦
