液浸ラマン分光法による組成傾斜SiGeワイヤの異方性二軸応力分布評価
液浸ラマン分光法による組成傾斜SiGeワイヤの異方性二軸応力分布評価
复制标题
使用浸没拉曼光谱评估成分梯度 SiGe 线中的各向异性双轴应力分布
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
小椋厚志
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
横川凌;高橋恒太;富田基裕;黒澤昌志;渡邉孝信;小椋厚志
