Dose designing and fabrication of 4H-SiC double RESURF MOSFETs

Dose designing and fabrication of 4H-SiC double RESURF MOSFETs
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4H-SiC 双 RESURF MOSFET 的剂量设计和制造

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Proc. 18th Int. Symp. On Power Semiconductor Devices
影响因子:
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通讯作者:
T.Kimoto 他
T.Kimoto 他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Miyazaki;M. Ikeda;K. Makihara;K. Shimanoe;R. Matsumoto;T.Kimoto 他;T.Kimoto 他

文献摘要

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