APSUNY Process Design Kit (PDKv3.0): O, C and L Band Silicon Photonics Component Libraries on 300mm Wafers

APSUNY Process Design Kit (PDKv3.0): O, C and L Band Silicon Photonics Component Libraries on 300mm Wafers
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APSUNY 工艺设计套件 (PDKv3.0)：300mm 晶圆上的 O、C 和 L 波段硅光子元件库

DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
Optical Fiber Communications Conference and Exhibition
影响因子：
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通讯作者：
M. Watts
M. Watts
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
E. Timurdogan;Z. Su;R. Shiue;C. Poulton;M. Byrd;Simon Xin;M. Watts

文献摘要

被引文献

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介绍了最新的工艺设计工具包(APSUNY PDKv3.0)，其中包括经过验证的无源和有源O+C+L波段硅光子学元件库，其中包括300 mm SOI晶片上的50Gbaud(100Gbps)调制器、高成品率分路器和探测器。
An updated process design kit (APSUNY PDKv3.0) is introduced with verified passive and active O+C+L band silicon photonics component libraries, which includes 50Gbaud (100Gbps) capable modulators, high yield splitters and detectors on 300mm SOI wafers.