高周波スパッタ法によるナノクリスタルシリコン発光層の作製
高周波スパッタ法によるナノクリスタルシリコン発光層の作製
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高频溅射法制备纳米晶硅发光层
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
辻琢人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Fujimoto;T.Murofushi;辻琢人
