Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
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微波和射频辅助磁控管放电电离效率的比较
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2005.03.046
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发表时间：
2005
影响因子：
5.4
通讯作者：
M. Touzeau
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
L. Poucques;Jean;P. Vašina;C. Boisse;Lionel Teulé;J. Bretagne;M. Touzeau
虽然大多数电离物理蒸汽沉积(IPVD)反应堆使用射频线圈来产生额外的电离，但我们开发了一种替代技术，使用两个微波天线来实现溅射蒸汽的电离。本文的目的是比较这两种装置在同一反应堆室内的电离效率。
While most of Ionised Physical Vapour Deposition (IPVD) reactors use radio-frequency coils to create additional ionisation, we developed an alternative technique using two microwave antennas to achieve the ionisation of the sputtered vapour. The aim of this paper is to compare the ionisation efficiency of these two devices in the same reactor chamber.