Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe
Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe
复制标题
窄间隙AFM双硅探针微通道和喷嘴的制作
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Mineta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Miura;J. Hong;K. Mishina;T. Shibata;T. Mineta
