Mist-CVD法によるTiO2膜のマイクロキャビティ内へのコンフォーマル形成
Mist-CVD法によるTiO2膜のマイクロキャビティ内へのコンフォーマル形成
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利用 Mist-CVD 方法在微腔内保形形成 TiO2 薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白井肇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横山工純、Abdul Kuddus;白井肇
