高周波MEMS応用のための微小真空管製作
高周波MEMS応用のための微小真空管製作
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用于高频 MEMS 应用的微型真空管生产
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
年吉洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下清隆;SUN Winston;角嶋邦之;藤田博之;年吉洋
