劣化エピラキシャル成長した作製されたSiGe薄膜の熱電性能

劣化エピラキシャル成長した作製されたSiGe薄膜の熱電性能
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使用退化外延生长制备的 SiGe 薄膜的热电性能

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
電子情報通信学会 技術研究報告
影响因子:
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通讯作者:
佐々木
佐々木
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
的場;早平;佐々木

文献摘要

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