スパッタの理論 I 非晶質のスパッタ収量と多結晶ターゲット
スパッタの理論 I 非晶質のスパッタ収量と多結晶ターゲット
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
1969
期刊：
Physical Review D
影响因子：
5
通讯作者：
P. Sigmund
P. Sigmund
中科院分区：
物理与天体物理2区
文献类型：
--
作者：
P. Sigmund
文献摘要
被引文献
相似文献
