石丸 和博: "方形波パルス誘電体バリア放電プラズマを用いたTEOS-O_2系CVDによるSiO_2膜の形成" 第59回応用物理学会 学術講演会講演予稿集. 59-2. 723-723 (1998)
石丸 和博: "方形波パルス誘電体バリア放電プラズマを用いたTEOS-O_2系CVDによるSiO_2膜の形成" 第59回応用物理学会 学術講演会講演予稿集. 59-2. 723-723 (1998)
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Kazuhiro Ishimaru：“使用方波脉冲电介质阻挡放电等离子体通过基于 TEOS-O_2 的 CVD 形成 SiO_2 薄膜”第 59 届日本应用物理学会学术会议论文集 59-2（1998）。
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