Tadahiro Ohmi: "Development of a stainless steel tube resistant to corrosive Cl_2 gas for use in semiconductor manufacturing"Journal of Vacuum Science & Technology B. 16・5. 2789-2795 (1998)
Tadahiro Ohmi: "Development of a stainless steel tube resistant to corrosive Cl_2 gas for use in semiconductor manufacturing"Journal of Vacuum Science & Technology B. 16・5. 2789-2795 (1998)
复制标题
大江忠宏：“半导体制造用耐腐蚀性Cl_2气体的不锈钢管的开发”真空科学技术杂志B.16・5（1998年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
