Y.SETSUHARA,S.MIYAKE,Y.SAKAWA and T.SHOJI: "Production of Inductively-Coupled Large-Diameter Plasmas with Internal Antenna" Jpn.J.Appl.Phys. (to be published). (1999)
Y.SETSUHARA,S.MIYAKE,Y.SAKAWA and T.SHOJI: "Production of Inductively-Coupled Large-Diameter Plasmas with Internal Antenna" Jpn.J.Appl.Phys. (to be published). (1999)
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Y.SETSUHARA、S.MIYAKE、Y.SAKAWA 和 T.SHOJI：“带有内部天线的电感耦合大直径等离子体的生产”Jpn.J.Appl.Phys。
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