中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
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吸附分子对中性粒子束激基复合物反应过渡金属蚀刻的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田智広;菊地良幸;伊藤寿;久保百司;寒川誠二
