Effects of vacuum environment on oxygen impurity during the reactive sputtering deposition of metal nitrides
Effects of vacuum environment on oxygen impurity during the reactive sputtering deposition of metal nitrides
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金属氮化物反应溅射沉积过程中真空环境对氧杂质的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Baba
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Hirukawa;T.Nakamura;A.Suzuki;T.Nakano;S.Baba
