数百keV 小型イオンマイクロビーム装置でのビームサイズの縮小
数百keV 小型イオンマイクロビーム装置でのビームサイズの縮小
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数百keV小离子微束装置中束流尺寸的减小
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大久保猛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石井保行;大久保猛
